Gemini
| Внешние размеры | 1440 x 870 x 1120 мм |
| Размеры камеры | 720 x 570 x 200 мм |
| Вакуумный насос | Busch: 100 м³/ч |
| Запаивающая пластина | 2 x 550 мм |
Gemini XL
| Внешние размеры | 1900 x 1050 x 1200 мм |
| Размеры камеры | 880 x 790 x 215 мм |
| Вакуумный насос | Busch: 250 м³/ч |
| Запаивающая пластина | 2 x 770 мм |